多晶硅高温尾气处理
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多晶硅作为制作太阳能电池的主要原料,近年来得到巨大发展。不管是改良西门子法还是硅烷法生产工艺中都存在大量过滤分离器,用于硅粉收集、氯硅烷循环洗涤、循环水再利用等工序。结合诸多项目经验,飞潮提出了自己的过滤工艺解决方案。

 

污染物及杂质:

 

未完全反应的硅粉颗粒
循环液带入的管道中的杂质
进料带入的固体粉尘与杂质
合成反应生成的固体杂质

这些颗粒的存在是影响生产稳定、换热效率的重要原因。高效的过滤与分离装置不仅保护了生产设备的工艺安全,同时也提升了产品产量。

 

高温尾气净化

 

尾气过滤应用在多晶硅生产的各个工艺段,对多晶硅的生产起到重要作用,尤其目前行业低位运行期间,对多晶硅产品降低成本至关重要.

a.废气废液工位的烟气过滤
b.还原炉尾气分离
c.氢化炉尾气分离
d.硅粉槽硅粉过滤等。

 

1、还原尾气分离

 

在SiCl4氢化气和SiHCl3还原气通过干法分离后,H2和HCl得以回收利用,在H2回用前需过滤气体中含有的未反应硅粉和生成的石墨粉,保证氢气纯净,使氢化反应和还原反应更稳定、高效。

问题:

要求:

解决:

氢气为高危气体

过滤器密封性能良好

采用自动反吹系统,无须打开滤器,减少内件更换频次,避免泄露可能

石墨粉/硅粉颗粒粒径微小,硬度高。

过滤精度要求高,防止内件穿透。

采用独特的烧结金属毡内件,过滤孔径稳定,保证过滤性能,过滤精度可达0.1um-0.5um

尾气温度高

抗温要求高。避免降温处理带来的一系列问题。

飞潮采用高温直接处理工艺,避免降温处理带来管道腐蚀,能耗浪费严重的问题。

 

2、废气、废液焚烧处理

 

在多晶硅生产工艺中,废气废液处理一直是困扰企业的难题之一。传统的喷淋处理工艺,处理成本高,浪费严重,环保问题严峻。

 

解决方案:

 

飞潮采用干法分离技术,将废气废液在炉内燃烧,生成SiO2粉末,通过分离收集SiO2粉末产生极大的经济效益。同时解决环保达标排放问题.

 

工艺优势:

 

废气废液集中处理,工艺流程短,操作简单。
回收的SiO2粉末产生极大的经济效益。
气体经燃烧后,符合环保要求,可直接放空处理,经济环保。

 

 

多晶硅其他过滤器

 

从改良西门子法到硅烷法,从氯硅烷过滤到高温尾气分离,飞潮都可满足客户不同的需求。

 

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