微电子空气过滤
当前位置:首页 > 解决方案
微电子空气过滤
 
 
过程简述
 
粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路,粉尘直接影响产品的成品率。当今,半导体工业(芯片厂)对生产环境的空气洁净程度最挑剔,对空气过滤器的要求也最苛刻。芯片厂传统的通风形式是“大循环”,车间的整个顶棚上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置,即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度,只是在运行管理和能耗上有所差异,不论是高效过滤器还是FFU,出厂前都要经过逐台扫描测试。
 
问题描述
 
当芯片上的线宽小到0.5μm时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害;化学污染物的来源可能是室外空气、工艺本身、人或装修材料;当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,你想要多干净都能达到。
 
产品应用
 
玻璃纤维滤纸
    玻纤滤纸的含硼问题 
 
活性炭吸附滤芯
    广谱吸附性能及吸附容量问题 
 
聚四氟乙烯滤芯
    无挥发物;  
 
关联产品

版权所有 © 飞潮过滤

服务热线: 400-820-6150

邮箱:marketing@feature-tec.com

沪ICP备06016156号